Bersaglio rotante in metallo
Descrizione del prodotto
Bersaglio rotante in metallo
I campi magnetici ed elettrici ortogonali vengono applicati tra il bersaglio di sputtering (catodo) e l'anodo.E riempire il gas inerte richiesto (solitamente gas Ar) nella camera ad alto vuoto.Sotto l'azione di un campo elettrico, il gas Ar viene ionizzato in ioni positivi ed elettroni.Al bersaglio viene applicata una certa alta tensione negativa, gli elettroni emessi dal bersaglio sono influenzati dal campo magnetico, la probabilità di ionizzazione del gas di lavoro aumenta, si forma un plasma ad alta densità vicino al catodo e gli ioni Ar ne risentono dalla forza di Lorentz.Quindi accelerare per volare sulla superficie del bersaglio e bombardare la superficie del bersaglio ad alta velocità, in modo che gli atomi spruzzati sul bersaglio seguano il principio della conversione della quantità di moto, volino dalla superficie del bersaglio al substrato e depositino un film ad alta energia cinetica.
Al fine di migliorare ulteriormente il tasso di utilizzo del materiale target, viene progettato un catodo rotante con maggiore efficienza d'uso e viene utilizzato un materiale target tubolare per il rivestimento sputtering.Il miglioramento delle apparecchiature di sputtering richiede che il bersaglio venga cambiato da una forma piatta a una forma tubolare e il tasso di utilizzo del bersaglio rotante tubolare può raggiungere il 70%, il che risolve in gran parte il problema del basso utilizzo del bersaglio piatto.
| Nome prodotti | Bersaglio rotante in metallo |
| Materiale | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| Dimensione di vendita calda | ID-133/OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 x 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Può anche essere lavorato secondo le specifiche esigenze dei clienti |
| MOQ | 3 pezzi |
| Pacchetto | Cassa in legno multistrato |
Nota: produciamo principalmente vari bersagli in metallo, consultateci per i dettagli.
Applicazione
Il rivestimento sputtering è un nuovo tipo di metodo di rivestimento a vapore fisico.Rispetto al metodo di rivestimento per evaporazione, presenta evidenti vantaggi
sotto molti aspetti.Gli obiettivi di metal sputtering sono stati utilizzati in molti campi.L'applicazione principale del bersaglio rotante.
■Celle solari
■Vetro architettonico
■Vetro automatico
■Semiconduttore
■TV a schermo piatto, ecc
Informazioni sull'ordine
Le richieste e gli ordini devono includere le seguenti informazioni:
☑Specifica obiettivo ID × OD × L (mm).
☑Quantità richiesta.
☑Vi preghiamo di contattarci per esigenze più particolari.
