Come funziona lo sputtering del magnetron?
Magnetron sputtering è un metodo di deposizione fisica in fase di vapore (PVD), una classe di processi di deposizione sotto vuoto per la produzione di film sottili e rivestimenti.
Il nome "magnetron sputtering" deriva dall'uso di campi magnetici per controllare il comportamento delle particelle ioniche cariche nel processo di deposizione di magnetron sputter.Il processo richiede una camera ad alto vuoto per creare un ambiente a bassa pressione per lo sputtering.Il gas che comprende il plasma, tipicamente gas argon, entra per primo nella camera.
Un'elevata tensione negativa viene applicata tra il catodo e l'anodo per avviare la ionizzazione del gas inerte.Gli ioni di argon positivi del plasma entrano in collisione con il materiale bersaglio caricato negativamente.Ogni collisione di particelle ad alta energia può causare l'espulsione di atomi dalla superficie del bersaglio nell'ambiente del vuoto e la spinta sulla superficie del substrato.
Un forte campo magnetico produce un'elevata densità di plasma confinando gli elettroni vicino alla superficie del bersaglio, aumentando la velocità di deposizione e prevenendo danni al substrato dal bombardamento ionico.La maggior parte dei materiali può fungere da bersaglio per il processo di sputtering poiché il sistema di sputtering del magnetron non richiede la fusione o l'evaporazione del materiale sorgente.
Parametri del prodotto
Nome prodotti | Bersaglio in puro titanio |
Grado | Gr1 |
Purezza | Più 99,7% |
Densità | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 pezzi |
Dimensione di vendita calda | Ø95*40mm Ø98*45mm Φ100*40mm Ø128*45mm |
Applicazione | Rivestimento per macchina PVD |
Dimensione magazzino | Ø98*45mm Φ100*40mm |
Altri target disponibili | Molibdeno (Mo) Cromo(Cr) TiAl Rame (Cu) Zirconio (Zr) |
Applicazione
■Rivestire circuiti integrati.
■Display a pannello di superficie di pannelli piatti e altri componenti.
■Decorazione e rivestimento in vetro, ecc.
Quali prodotti possiamo produrre
■Bersaglio piatto in titanio ad alta purezza (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Connessione filettata standard per una facile installazione (M90, M80)
■Produzione indipendente, prezzo accessibile (qualità controllabile)
Informazioni sull'ordine
Le richieste e gli ordini devono includere le seguenti informazioni:
■ Diametro, altezza (come Φ100*40mm).
■ Dimensione del filo (come M90 * 2 mm).
■ Quantità.
■ Richiesta di purezza.